ในปีพ.ศ. 2366 จอห์นและชาร์ลส์ ดีนได้คิดค้นอุปกรณ์ป้องกันควันแบบใหม่เพื่อป้องกันไม่ให้นักดับเพลิงสัมผัสกับควันขณะดับเพลิง
ในปี 1854 ชายคนหนึ่งชื่อ Johns Tenhouse มีความก้าวหน้ามากขึ้นโดยอิงตามสิ่งประดิษฐ์ของรุ่นก่อน โดยผ่านการทดลองหลายครั้ง เขาได้เรียนรู้ว่าการเติมถ่านลงในตัวกรองอากาศสามารถกรองก๊าซที่เป็นอันตรายและเป็นพิษออกจากอากาศได้
ในช่วงสงครามโลกครั้งที่ 2 รัฐบาลสหรัฐฯ เริ่มวิจัยเกี่ยวกับวัสดุกัมมันตภาพรังสี พวกเขาจำเป็นต้องพัฒนาวิธีการกรองอนุภาคที่เป็นอันตรายทั้งหมดเพื่อรักษาอากาศให้สะอาดเพื่อให้นักวิทยาศาสตร์สามารถหายใจได้ ตัวกรอง HEPA จึงถือกำเนิดขึ้น
ในช่วงทศวรรษที่ 1950 และ 60 แผ่นกรอง HEPA ได้รับความนิยมอย่างมาก HEPA เป็นมาตรฐานการกรองที่ให้ประสิทธิภาพการกรองมากกว่า 99.97% สำหรับอนุภาคที่มีขนาดเล็กถึง 0.3 ไมครอน โดยเน้นที่ประสิทธิภาพการกรองผ่านครั้งเดียว- อย่างไรก็ตาม ในเครื่องฟอกอากาศ แผ่นกรองมาตรฐาน HEPA มีความต้านทานอากาศสูงเกินไปและไม่เหมาะ
ในช่วงทศวรรษที่ 1980 จุดมุ่งเน้นของการฟอกอากาศได้เปลี่ยนมาสู่วิธีการทำให้บริสุทธิ์ เช่น เครื่องฟอกอากาศในบ้าน แม้ว่าตัวกรองแบบเก่าจะขจัดกลิ่น สารเคมีที่เป็นพิษ และก๊าซพิษได้ดีเยี่ยม แต่ไม่สามารถกำจัดสปอร์ของเชื้อรา ไวรัส หรือแบคทีเรียได้ เครื่องฟอกอากาศสำหรับบ้านและสำนักงานรุ่นใหม่ไม่เพียงแต่ทำความสะอาดก๊าซพิษเท่านั้น แต่ยังทำให้อากาศบริสุทธิ์ กำจัดแบคทีเรีย ไวรัส ฝุ่น ละอองเกสรดอกไม้ และสปอร์ของเชื้อราอีกด้วย
ตั้งแต่ปลายทศวรรษ 1990 เป็นต้นมา ด้วยความต้องการการฆ่าเชื้อและกำจัดกลิ่นที่เพิ่มขึ้น จึงมี "กระแสต่อต้านแบคทีเรีย" เข้ามาครอบงำอุตสาหกรรมเครื่องฟอกอากาศ เครื่องฟอกอากาศยังนำตัวกรองโฟโตคะตะลิสต์มาใช้ในปี 1996 เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพในการฆ่าเชื้อและกำจัดกลิ่น
หลังจากปี 2002 โดยได้รับอิทธิพลจากการแพร่กระจายของโรคซาร์สและการแพร่ระบาดของไข้หวัดใหญ่สายพันธุ์ใหม่ ความต้องการเครื่องฟอกอากาศต้านไวรัสจึงเพิ่มขึ้นอย่างมาก “เทคโนโลยีลำแสง” ได้รับการพัฒนาและรวมเข้ากับเครื่องฟอกอากาศ เทคโนโลยีนี้ใช้การสลายตัว (ออกซิเดชัน) ของตัวกรองเพื่อดักจับแบคทีเรียและไวรัส
ในปี 2008 นอกเหนือจากมาตรการในการกำจัดสารที่เป็นอันตรายออกจากอากาศแล้ว เครื่องฟอกอากาศยังได้เพิ่ม "ฟังก์ชันการทำความชื้น" เพื่อตอบสนองความต้องการในการขจัดความแห้งของห้อง
ในปี 2013 เครื่องฟอกอากาศส่วนใหญ่ในตลาด โดยเฉพาะที่มีราคาต่ำกว่า 10,000 หยวน ไม่ได้ใช้ตัวกรองอนุภาค "HEPA" ตัวกรองเหล่านี้สามารถแบ่งได้เป็นตัวกรองแบบแอคทีฟและแบบผสม-แบบพาสซีฟ
ด้วยเทคโนโลยีการกำจัดอนุภาคที่ใช้ในเครื่องฟอกอากาศ ประเภทหลักๆ ได้แก่ ตัวกรองเชิงกล ตัวกรองอิเล็กเตรตแบบไฟฟ้าสถิต การตกตะกอนด้วยไฟฟ้าสถิตแรงดันสูง- การสร้างไอออนลบ และวิธีการพลาสมา